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Photomask Visual Inspection/Review Station PSI生產之光罩檢驗機提供客戶最完善且更具經濟效益的解決方案，讓客戶能偵測、檢驗各種先進光罩上的缺陷，改進生產與品管的效率。
具備精確定位能力與先進光學照明，透過四種獨立光源 Incident Bright-Field(IBF) 、 Incident Dark-Field(IDF) 、 Transmitted Bright-Field(TBF)、 Transmitted Dark-Field(TDF)組成八種照明模式，能準確檢測包括particles、pinhole、chrome defect、edge effect、scratching thin metal and contamination等各種光罩的缺陷位置，大幅提高光罩檢驗效率與正確性。
PSI 400 系列適用於 4"~9" 光罩；
PSI 300 系列適用於 4"~7" 光罩；
342-PMI 為通用手動光罩檢驗機；
362-PMI 提供DRO( Digital Readout)數位座標判讀系統；