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PSI462PMI手動光罩檢驗機適用4~9吋光罩檢查，搭配USMCO專用400X光學顯微鏡迅速檢測各種光罩缺陷，並可加裝CCD攝影機與高解析度顯示螢幕。 PSI 462 PMI手動光罩檢驗機提供DRO (Digital Readout)數位座標判讀系統，可重複進行缺陷定位與檢驗，是量測與故障分析的最佳利器。