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PSI 600LS Manual 300mm Wafer Probe Station 適用12 吋之晶圓WAT 應用，具有低漏電流(fA)及高精密度( 0.1μm)。量測搭配精密馬達驅動X-Y Stage解析度為 0.1um。可搭配溫度控制、或特殊Wager Chuck。顯微鏡使用精密光學顯微鏡，同時具有延長顯微鏡壽命設計。