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PSI 400LS / 410LS Precision Lead Screw Positioning Probe Station 量測6”~8”晶圓，高精確度，推拉式容易操作，可使用單手操作定位。PSI 400LS平台Z軸具有3個定位點， PSI 410 LS顯微鏡Z軸具有12個定位點。