科宇系統有限公司

PSI 404LS / 414LS 4” x 4” X-Y Focus Precision Lead Screw Probe Station 量測6”~8”晶圓，高精確度採用固定量測平面設計，顯微鏡在水平X與Y軸方向各可移動4”，晶圓承載平台位置可移動6”~8”，可用雙手同時調整，容易精確定位。PSI 404平台Z軸具有3個定位點， PSI 414 顯微鏡Z軸具有12個定位點。提供範圍廣泛的各種測試應用且同時提供功能強大, 品質穩定的優勢。