http://www.activelink.com.tw/contact.html 科宇系统有限公司 http://www.activelink.com.tw/images/corpimg.png 新竹县竹北市高铁二路32号12F-5 $ 03-658-6503 科宇系统代理欧美半导体与光电产业的专业量测分析系统，包括微米、纳米级物体表面的三维精密测量仪、湿制程浓度分析仪、光罩检查机、探针台、CV / IV 量测系统、薄膜和片电阻的测量仪、以及太阳电池制程中的片电阻与漏电流量的量测等机台和周边耗材。   * SubNano 镇江超纳仪器 3D Optical microscope/Non-contact Surface profiler 微米/纳米级物体表面微观特徵的三维精密测量，包括表面缺陷、表面粗糙度、表面台阶高度差、薄膜厚度等等。这些应用包括了先进制造业的各个领域如集成电路制程工艺、微电子机械系统（MEMS）制造技术、太阳能光伏电池生产技术、高效LED晶元生产技术、高端通讯制造技术、超精密机械加工中的航空/航太/汽车/光学零件表面粗糙度、新型材料表面特徵、智慧手机/平面电脑/平面显示器装配等等领域的研发和大规模生产   * CI-SEMI In-line, real-time concentration monitor ，化学液浓度分析仪，湿制程多通道即时浓度监测系统适用於清洗(Clean)、蚀刻(Etch)、去光阻(Strip)等化学槽监测，如半导体制程SC1、SC2、BOE、DHF、EKC、ACT；光电产业Al etch、BOE、PR STRIPPER；太阳能厂里制程中的HF/HNO3、KOH/IPA等化学液浓度监控，依据不同的需求有不同的选择。 NTM，In-Situ Wafer Temperature Monitor，非接触式的红外光测温器，适用於制程中测量晶圆表面温度，NTM会自动进行反射率(Emissivity)的补偿，CI-SEMI的NTM广泛的使用在OEM的制造商机台上，用於如CVD 、PVD、Dry Etch、RTP等制程机台上，OEM的制造商例如Applied Material、TEL、Novellus、Ulvac等。   * Probing Solutions Inc. Probe Stations 晶圆探针台 4"~12" wafer probe. Photomask Inspection Station 光罩显微检验机台 inspecting particles on pellicles or glass and pattern defects.专为光罩检查设计，操作容易搭配8种照明模式容易观测各种缺陷。   * 4 Dimensions Inc. Hg CV Mapping system 电容-电压量测系统 C-V, I-V, Q-V...特殊汞探针设计可直接量测无图形晶圆。 4 point probe system 四点探针阻值量测系统适用於半导体或光电产业薄膜阻值量测。Sheet Resistance 片电阻量测 Solar Cell, ITO, Wafer mapping. 另外针对太阳电池应用4D开发出可以量测片电阻与漏电流检测之专利机种，可以检测PN Junction漏电流   * Jandel Probe Heads 适用各大厂之阻值量测系统使用之四点探针探头，品质优异价格合理   * attolight Quantitative Cathodoluminescence (CL, CL-SEM, CL-STEM, TRCL )  瑞士 attolight 生产之 CL 光谱仪.  针对CL最佳化设计. 提供半导体, LED, MicroLED, PV及各种材料奈米级之缺陷成分分析. 

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